La Planarità della Superficie di Tenuta è Ciò che Mantiene il Tuo Vuoto Senza Perdite Questi Componenti per Camere a Semiconduttore Lavorati a CNC sono le pareti portanti e gli anelli di distribuzione
Questi Componenti per Camere a Semiconduttore Lavorati a CNC sono le pareti portanti e gli anelli di distribuzione del gas per strumenti di incisione, deposizione e impiantazione ionica. Lavoriamo le superfici critiche di tenuta con una planarità di 0.005 mm e manteniamo una finitura superficiale di Ra 0.4 µm sulle sedi delle guarnizioni O-ring. Ciò significa che la tua camera mantiene un vuoto di 10⁻⁶ Torr senza punti di pizzicamento dell'elastomero. BQUQ vanta 20 anni di produzione CNC a Dongguan, quindi ottieni questa precisione con tempi di consegna di 10 giorni, non le 6 settimane tipiche delle officine statunitensi o tedesche.
Per i componenti esposti al plasma, raccomandiamo l'alluminio 6061-T6. La sua conducibilità termica (167 W/m·K) estrae il calore dalla zona di reazione 10 volte più velocemente dell'acciaio inossidabile 316L. Distensioniamo ogni piastra prima della lavorazione per rimuovere le tensioni interne. Dopo la lavorazione, eseguiamo un'anodizzazione dura con durezza equivalente di 60 HRC sulla superficie: questo previene l'arco elettrico e il rilascio di particelle. Per le stazioni finali di impiantazione ionica, utilizziamo 304L o 316L con elettrolucidatura a 32 Ra per ridurre l'emissione di gas al di sotto di 1×10⁻⁹ Torr·L/s·cm².
I componenti della tua camera spesso richiedono porte di ingresso del gas ad angoli di 15°, 30° o 45°. Utilizziamo fresatrici a 5 assi DMG MORI che lavorano questi fori angolati in un unico setup. Questo elimina l'errore cumulativo derivante dal riposizionamento. La precisione posizionale tipica sulla spaziatura porta-porta è di ±0.01 mm. Lavoriamo anche filettature interne con classe di tolleranza 2A, fondamentale per i fori delle cartucce riscaldanti e i pozzetti delle termocoppie che devono sigillare sotto cicli termici.
Ogni lotto di materia prima è accompagnato da un certificato di collaudo EN 10204 3.1. Verifichiamo la composizione chimica e la durezza prima di tagliare. Per i componenti in alluminio, utilizziamo la tempra T6 (190 HB). Per l'acciaio inossidabile, utilizziamo la condizione di ricottura di soluzione e, se richiesto, eseguiamo una cottura finale sotto vuoto a 400°C per rimuovere l'infragilimento da idrogeno. Registriamo la lettura della durezza sul foglio di ispezione di ogni componente: ottieni il numero effettivo, non un valore "tipico".
Ispezioniamo il 100% delle caratteristiche critiche, non solo un campione. Una CMM Zeiss controlla tutti i fori, i modelli di bullonatura e le superfici di tenuta rispetto al tuo modello 3D. Per i componenti che devono mantenere il vuoto, eseguiamo un test di perdita all'elio fino a 1×10⁻⁹ mbar·L/s. Fotografiamo anche il componente accanto a una scala calibrata per i tuoi archivi. Ricevi un rapporto di ispezione completo con ogni spedizione, senza costi aggiuntivi.
La finitura standard è Ra 0.8 µm sulle aree non di tenuta e Ra 0.4 µm sulle superfici di tenuta. Per prodotti chimici corrosivi come Cl₂ o HBr, applichiamo un'anodizzazione dura di 25 µm (Tipo III) che resiste all'attacco. Per i componenti in acciaio inossidabile, offriamo l'elettrolucidatura che rimuove lo strato incrudito e lascia una superficie passiva di ossido di cromo. Non utilizziamo la sabbiatura abrasiva: incorpora particelle di materiale che causano difetti sui wafer.
Confezioniamo i componenti in doppi sacchetti in plastica ESD-safe e li imballiamo in casse di legno con rivestimento in schiuma. La cassa esterna è marcata con "Fragile – Grado Vuoto" e include un sacchetto di essiccante. Gestiamo tutta la documentazione di esportazione, inclusi il Certificato di Fumigazione e la Fattura Commerciale. La spedizione tramite DHL o FedEx porta a porta richiede 3-5 giorni per Stati Uniti, UE o Giappone. Per riparazioni urgenti, possiamo spedire un singolo componente via aerea entro 48 ore.
| Specifica | Valore / Intervallo |
|---|---|
| Materiali | Alluminio 6061-T6, 7075-T6, Acciaio Inossidabile 304L/316L, Titanio Grado 5 |
| Dimensione Massima del Componente | 1200 mm x 800 mm x 400 mm |
| Intervallo di Spessore | Da 2 mm a 200 mm |
| Durezza (Alluminio) | T6: 95 HB; Anodizzazione Dura: 60 HRC equiv. |
| Durezza (Acciaio Inossidabile) | Ricottura di Soluzione: 200 HB max |
| Tolleranza di Lavorazione | ±0.005 mm (lineare), ±0.01 mm (posizionale) |
| Finitura Superficiale Ra | 0.4 µm (tenuta), 0.8 µm (standard), 0.2 µm (ottica) |
| Oscillazione (concentricità) | ≤0.005 mm su foro-foro |
| Tempi di Consegna | 10 giorni standard, 5 giorni accelerati |
| MOQ | Nessun MOQ — 1 pezzo o 1000 pezzi |
| Ispezione | 100% CMM, test di perdita all'elio opzionale |
Abbiamo bisogno del tuo file 3D STEP o IGES. Il disegno 2D non cattura le indicazioni del profilo superficiale su porte curve complesse. Inviaci il modello solido e verificheremo spessore della parete, accesso degli utensili e raggio interno. Se troviamo un problema di produzione, te lo comunicheremo entro 4 ore, non dopo che hai pagato per l'attrezzatura.
Conserviamo i tuoi programmi CNC, i dispositivi di fissaggio e le routine di ispezione sul nostro server per 10 anni. Quando riordini, estraiamo il programma, rieseguiamo il primo articolo e spediamo in 7 giorni. Non paghi una nuova tassa di setup per ordini ripetuti. Per contratti annuali, possiamo mantenere uno stock di sicurezza della tua materia prima critica: basta comunicarci la tua previsione.
Quantità minima d'ordine pari a zero. Lavoriamo un prototipo o 1000 pezzi di produzione allo stesso prezzo unitario.
Sì, ci approvvigioniamo da acciaierie certificate in Cina, Taiwan e Giappone; inviaci la tua specifica ASTM o DIN e confermeremo la disponibilità entro 24 ore.
Utilizziamo la stessa ispezione CMM e gli stessi certificati dei materiali per un singolo pezzo come per un lotto di 1000: nessuna scorciatoia.
Possiamo lavorare una semplice piastra in alluminio in 48 ore e spedirla via aerea; le camere complesse con più porte richiedono 5-7 giorni.
Pronto a far realizzare i componenti della tua camera con vera precisione? Invia il tuo modello 3D e la quantità a sc@bquq.com. Ti restituiremo un preventivo fermo entro 12 ore, inclusi costo del materiale, tempo di lavorazione e opzioni di spedizione. Per domande urgenti, contattaci su WhatsApp al +86 13713157787. Nessun MOQ, nessuna tassa di progettazione, nessun costo nascosto per l'attrezzatura: solo Componenti per Camere a Semiconduttore Lavorati a CNC che soddisfano la tua guida alle tolleranze di lavorazione CNC e durano per migliaia di cicli di processo. La nostra produzione di precisione in Cina è supportata da 20 anni di esperienza nell'esportazione. Ti aiutiamo anche a scegliere gli strumenti giusti per la tua lega specifica: consulta la nostra guida alla selezione degli utensili da taglio CNC per i dettagli. Invia il tuo disegno oggi.
| Parametro | Capacità |
|---|---|
| Materiali | AL6061/7075, SUS303/304/316, acciaio 45#, rame T2, ottone H59, POM, PEEK, nylon |
| Tolleranza | ±0.005mm standard, ±0.003mm su richiesta |
| Macchine | CNC a 3/4/5 assi, tornio-fresatrice, tornio svizzero |
| Superficie | Anodizzazione, nichelatura, zincatura, passivazione, sabbiatura, lucidatura |
| Intervallo di dimensioni | Max 400 x 300 x 200 mm |
| Prototipo | 72 ore, nessun MOQ sui campioni |
| Ispezione | Report completo per lotto, dati CMM su richiesta |
