Queste parti per camere a semiconduttore lavorate a CNC sono gli involucri sigillati sotto vuoto e resistenti al plasma che ospitano le fasi di lavorazione dei wafer. Manteniamo lo spessore delle pare
Queste parti per camere a semiconduttore lavorate a CNC sono gli involucri sigillati sotto vuoto e resistenti al plasma che ospitano le fasi di lavorazione dei wafer. Manteniamo lo spessore delle pareti a ±0.005 mm, otteniamo una concentricità di 0.005 mm su tutte le superfici di accoppiamento e spediamo i primi articoli in 5 giorni — non 15. Ogni parte è fresata da billette certificate in alluminio o acciaio inossidabile su macchine a 3 e 5 assi, quindi sottoposta ad anodizzazione dura fino a una durezza superficiale equivalente di 60 HRC per la resistenza all'erosione in ambienti aggressivi di incisione e deposizione.
La scanalatura di tenuta è il cuore di qualsiasi camera — un percorso di perdita qui distrugge il processo. Tagliamo queste scanalature con utensili dedicati a punta singola, non con frese a candela generiche. I nostri programmi CNC utilizzano fresatura in concordanza a 12.000 RPM con una passata di 0.02 mm, producendo una superficie che comprime le guarnizioni O-ring in modo uniforme. Verifichiamo ogni scanalatura con un calibro ad aria calibrato, non solo con un profilometro. Risultato: tassi di perdita di elio inferiori a 1×10⁻⁹ mbar·L/s su ogni camera che spediamo.
Iniziamo con alluminio 6061-T6 per la maggior parte delle camere perché bilancia conducibilità termica (167 W/m·K) e lavorabilità. Per il plasma a base di fluoro, passiamo a acciaio inossidabile 316L o Inconel 625 — queste leghe resistono all'attacco degli alogeni che dissolve l'alluminio standard. Dopo la fresatura, applichiamo anodizzazione dura (Tipo III) a 50–60 HRC, o nichelatura chimica a 48–52 HRC sull'acciaio inossidabile. Il temperamento T6 è verificato tramite test di conducibilità su ogni billetta in ingresso.
Non ci affidiamo a controlli a campione. Ogni parte di camera riceve un'ispezione CMM completa con sonda a risoluzione 0.001 mm — da 40 a 120 punti misurati a seconda della geometria. Le scanalature di tenuta sono misurate con lo stesso calibro ad aria utilizzato nell'assemblaggio finale. La finitura superficiale è controllata con un profilometro laser, non con un calibro a graffio portatile. Tutti i dati sono archiviati in un rapporto PDF con il tuo numero d'ordine, inviato prima della spedizione della parte.
Le pareti delle camere hanno porte angolate, fori di ingresso gas e canali di raffreddamento che una macchina a 3 assi non può raggiungere senza molteplici configurazioni. Ogni configurazione aggiunge rischio di concentricità. Le nostre macchine DMG MORI a 5 assi tagliano queste caratteristiche in un unico bloccaggio, mantenendo la tolleranza posizionale a ±0.01 mm su tutta la parte. Per il tuo disegno, se un angolo di porta è 30° o 45°, lo lavoriamo in una sola passata — nessuna operazione secondaria di EDM o foratura.
Il tempo di consegna standard è di 5–7 giorni per un singolo prototipo di camera, 15 giorni per un lotto di 50. Non imponiamo una quantità minima d'ordine — ordina una parte per la qualifica, poi scala a 500. Questa è produzione di precisione made in China con una svolta: manteniamo le nostre linee di lavorazione, quindi controlliamo il programma. Nessun intermediario, nessun broker, nessuna attesa per un turno libero presso un subappaltatore.
Gli interni delle camere che affrontano il plasma necessitano di Ra 0.4 µm per ridurre il rilascio di particelle — lo otteniamo con una fresa a candela in carburo a 4 taglienti con impegno radiale di 0.01 mm, poi una passata diamantata da 2 µm. Per i canali di raffreddamento dove la rugosità aiuta il trasferimento di calore, lasciamo Ra 1.6 µm. La tabella seguente mostra le nostre opzioni standard; comunicaci la tua specifica e la raggiungiamo senza costi aggiuntivi a meno che la geometria non richieda utensili personalizzati.
| Parametro | Intervallo Standard | Note |
|---|---|---|
| Materiali | 6061-T6 Al, 316L SS, Inconel 625 | Certificati con tracciabilità del laminatoio |
| Dimensione massima parte | 800 mm × 600 mm × 400 mm | Più grande su richiesta |
| Durezza (Al dopo anodizzazione) | 50–60 HRC | Anodizzazione Tipo III, spessore 25–50 µm |
| Durezza (SS dopo nichelatura) | 48–52 HRC | Nichel chimico, 20–30 µm |
| Tolleranza (lavorata) | ±0.005 mm | Su superfici critiche di tenuta |
| Tolleranza (generale) | ±0.02 mm | ISO 2768-fine |
| Finitura superficiale | Da Ra 0.4 µm a Ra 1.6 µm | Misurata con profilometro laser |
| Concentricità (caratteristiche concentriche) | 0.005 mm TIR | Verificata su CMM |
| Tempo di consegna (prototipo) | 5 giorni | Dall'approvazione del disegno |
| Tempo di consegna (lotto di 50) | 15 giorni | Nessun MOQ — ordina 1 o 500 |
La tua camera può utilizzare una flangia CF, ISO-K o un design a morsetto proprietario. Lavoriamo tutte queste da billetta grezza — nessuna saldatura, nessuna brasatura. La faccia della flangia è lappata a planarità di 0.002 mm, e i fori dei bulloni sono forati a posizione vera di ±0.05 mm. Se il tuo disegno specifica una porta che non è nella nostra libreria utensili standard, la programmiamo direttamente. Il nostro software CAM gestisce l'interpolazione elicoidale per le filettature, quindi non hai bisogno di inserti separati.
Nessun MOQ — lavoriamo un singolo prototipo di parte di camera per la qualifica, poi scaliamo a qualsiasi volume necessario.
Sì, le nostre macchine a 5 assi tagliano qualsiasi angolo da 0° a 90° con precisione posizionale di ±0.01 mm, e foriamo canali di raffreddamento fino a 300 mm di profondità con diametro minimo di 3 mm.
Ogni parte riceve un'ispezione CMM completa con risoluzione 0.001 mm, le scanalature di tenuta sono controllate con calibro ad aria e la finitura superficiale è misurata al laser — tutti i dati ti vengono inviati come rapporto PDF.
Spediamo un lotto di 20 in 10 giorni dall'approvazione del disegno e confermiamo il programma via email entro 12 ore dalla ricezione della tua richiesta di preventivo.
La maggior parte delle fabbriche a Dongguan subappalta il lavoro delle camere a un secondo laboratorio. Noi no. Le nostre 20 macchine CNC funzionano 24/7 e il nostro team di controllo qualità si trova sullo stesso piano degli operatori. Questo è il motivo per cui possiamo garantire concentricità di 0.005 mm — l'operatore porta la parte alla CMM, non attraverso la città. È anche il motivo per cui rispettiamo i prototipi in 5 giorni: nessuna coda presso un fornitore esterno. Questa è produzione di precisione made in China, ma con il controllo di un'operazione a sito singolo.
Per evitare errori comuni, leggi la nostra guida alla selezione degli utensili da taglio CNC — spiega come la geometria dell'utensile influisce sulla finitura superficiale della tua camera. Per specifiche più strette, consulta la nostra guida alle tolleranze di lavorazione CNC per vedere cosa è realizzabile in produzione, non solo su una parte dimostrativa. E se stai valutando i costi energetici, le nostre note sulla produzione di precisione sostenibile mostrano come riduciamo il consumo energetico per parte del 18%.
Invia il tuo disegno per queste parti per camere a semiconduttore lavorate a CNC e ottieni un preventivo definitivo entro 12 ore. Email sc@bquq.com o WhatsApp +86 13713157787. Rispondiamo con prezzo, tempi di consegna e una revisione DFM — gratuita, senza impegno.
| Parametro | Capacità |
|---|---|
| Materiali | AL6061/7075, SUS303/304/316, acciaio 45#, rame T2, ottone H59, POM, PEEK, nylon |
| Tolleranza | ±0.005mm standard, ±0.003mm su richiesta |
| Macchine | CNC a 3/4/5 assi, tornio-fresatrice, tornio svizzero |
| Superficie | Anodizzazione, nichelatura, zincatura, passivazione, sabbiatura, lucidatura |
| Intervallo di dimensioni | Max 400 x 300 x 200 mm |
| Prototipo | 72 ore, nessun MOQ sui campioni |
| Ispezione | Report completo per lotto, dati CMM su richiesta |
