Queste parti per camere a semiconduttore lavorate a CNC sono gli involucri sigillati sotto vuoto e resistenti al plasma che ospitano le fasi di lavorazione dei wafer. Manteniamo lo
Parti per Camere a Semiconduttore Lavorate a CNC BQUQ | Produzione di Precisione
Queste parti per camere a semiconduttore lavorate a CNC sono gli involucri sigillati sotto vuoto e resistenti al plasma che ospitano le fasi di lavorazione dei wafer. Manteniamo lo spessore delle pare
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Queste parti per camere a semiconduttore lavorate a CNC sono gli involucri sigillati sotto vuoto e resistenti al plasma che ospitano le fasi di lavorazione dei wafer. Manteniamo lo spessore delle pareti a ±0.005 mm, otteniamo una concentricità di 0.005 mm su tutte le superfici di accoppiamento e spediamo i primi articoli in 5 giorni — non 15. Ogni parte è fresata da billette certificate in alluminio o acciaio inossidabile su macchine a 3 e 5 assi, quindi sottoposta ad anodizzazione dura fino a una durezza superficiale equivalente di 60 HRC per la resistenza all'erosione in ambienti aggressivi di incisione e deposizione.
Come Lavoriamo le Scanalature di Tenuta Sotto Vuoto
La scanalatura di tenuta è il cuore di qualsiasi camera — un percorso di perdita qui distrugge il processo. Tagliamo queste scanalature con utensili dedicati a punta singola, non con frese a candela generiche. I nostri programmi CNC utilizzano fresatura in concordanza a 12.000 RPM con una passata di 0.02 mm, producendo una superficie che comprime le guarnizioni O-ring in modo uniforme. Verifichiamo ogni scanalatura con un calibro ad aria calibrato, non solo con un profilometro. Risultato: tassi di perdita di elio inferiori a 1×10⁻⁹ mbar·L/s su ogni camera che spediamo.
Materiali e Trattamento Termico per la Resistenza al Plasma
Iniziamo con alluminio 6061-T6 per la maggior parte delle camere perché bilancia conducibilità termica (167 W/m·K) e lavorabilità. Per il plasma a base di fluoro, passiamo a acciaio inossidabile 316L o Inconel 625 — queste leghe resistono all'attacco degli alogeni che dissolve l'alluminio standard. Dopo la fresatura, applichiamo anodizzazione dura (Tipo III) a 50–60 HRC, o nichelatura chimica a 48–52 HRC sull'acciaio inossidabile. Il temperamento T6 è verificato tramite test di conducibilità su ogni billetta in ingresso.
Ispezione Prima di Ogni Spedizione: CMM, Calibro ad Aria e Laser
Non ci affidiamo a controlli a campione. Ogni parte di camera riceve un'ispezione CMM completa con sonda a risoluzione 0.001 mm — da 40 a 120 punti misurati a seconda della geometria. Le scanalature di tenuta sono misurate con lo stesso calibro ad aria utilizzato nell'assemblaggio finale. La finitura superficiale è controllata con un profilometro laser, non con un calibro a graffio portatile. Tutti i dati sono archiviati in un rapporto PDF con il tuo numero d'ordine, inviato prima della spedizione della parte.
Perché la Fresatura a 5 Assi Supera quella a 3 Assi per le Porte delle Camere
Le pareti delle camere hanno porte angolate, fori di ingresso gas e canali di raffreddamento che una macchina a 3 assi non può raggiungere senza molteplici configurazioni. Ogni configurazione aggiunge rischio di concentricità. Le nostre macchine DMG MORI a 5 assi tagliano queste caratteristiche in un unico bloccaggio, mantenendo la tolleranza posizionale a ±0.01 mm su tutta la parte. Per il tuo disegno, se un angolo di porta è 30° o 45°, lo lavoriamo in una sola passata — nessuna operazione secondaria di EDM o foratura.
Tempi di Consegna e Politica Senza MOQ per Prototipi e Ramp-Up
Il tempo di consegna standard è di 5–7 giorni per un singolo prototipo di camera, 15 giorni per un lotto di 50. Non imponiamo una quantità minima d'ordine — ordina una parte per la qualifica, poi scala a 500. Questa è produzione di precisione made in China con una svolta: manteniamo le nostre linee di lavorazione, quindi controlliamo il programma. Nessun intermediario, nessun broker, nessuna attesa per un turno libero presso un subappaltatore.
Opzioni di Finitura Superficiale: Da Ra 0.4 a Ra 1.6, Come Richiede il Tuo Processo
Gli interni delle camere che affrontano il plasma necessitano di Ra 0.4 µm per ridurre il rilascio di particelle — lo otteniamo con una fresa a candela in carburo a 4 taglienti con impegno radiale di 0.01 mm, poi una passata diamantata da 2 µm. Per i canali di raffreddamento dove la rugosità aiuta il trasferimento di calore, lasciamo Ra 1.6 µm. La tabella seguente mostra le nostre opzioni standard; comunicaci la tua specifica e la raggiungiamo senza costi aggiuntivi a meno che la geometria non richieda utensili personalizzati.
Parametro
Intervallo Standard
Note
Materiali
6061-T6 Al, 316L SS, Inconel 625
Certificati con tracciabilità del laminatoio
Dimensione massima parte
800 mm × 600 mm × 400 mm
Più grande su richiesta
Durezza (Al dopo anodizzazione)
50–60 HRC
Anodizzazione Tipo III, spessore 25–50 µm
Durezza (SS dopo nichelatura)
48–52 HRC
Nichel chimico, 20–30 µm
Tolleranza (lavorata)
±0.005 mm
Su superfici critiche di tenuta
Tolleranza (generale)
±0.02 mm
ISO 2768-fine
Finitura superficiale
Da Ra 0.4 µm a Ra 1.6 µm
Misurata con profilometro laser
Concentricità (caratteristiche concentriche)
0.005 mm TIR
Verificata su CMM
Tempo di consegna (prototipo)
5 giorni
Dall'approvazione del disegno
Tempo di consegna (lotto di 50)
15 giorni
Nessun MOQ — ordina 1 o 500
Come Gestiamo Dimensioni Personalizzate delle Porte e Flange Non Standard
La tua camera può utilizzare una flangia CF, ISO-K o un design a morsetto proprietario. Lavoriamo tutte queste da billetta grezza — nessuna saldatura, nessuna brasatura. La faccia della flangia è lappata a planarità di 0.002 mm, e i fori dei bulloni sono forati a posizione vera di ±0.05 mm. Se il tuo disegno specifica una porta che non è nella nostra libreria utensili standard, la programmiamo direttamente. Il nostro software CAM gestisce l'interpolazione elicoidale per le filettature, quindi non hai bisogno di inserti separati.
Qual è la quantità minima d'ordine per queste parti?
Nessun MOQ — lavoriamo un singolo prototipo di parte di camera per la qualifica, poi scaliamo a qualsiasi volume necessario.
Potete personalizzare gli angoli delle porte e i canali di raffreddamento secondo il mio disegno?
Sì, le nostre macchine a 5 assi tagliano qualsiasi angolo da 0° a 90° con precisione posizionale di ±0.01 mm, e foriamo canali di raffreddamento fino a 300 mm di profondità con diametro minimo di 3 mm.
Come verificate la qualità prima della spedizione?
Ogni parte riceve un'ispezione CMM completa con risoluzione 0.001 mm, le scanalature di tenuta sono controllate con calibro ad aria e la finitura superficiale è misurata al laser — tutti i dati ti vengono inviati come rapporto PDF.
Qual è il vostro tempo di consegna reale per un lotto di 20 camere?
Spediamo un lotto di 20 in 10 giorni dall'approvazione del disegno e confermiamo il programma via email entro 12 ore dalla ricezione della tua richiesta di preventivo.
Perché Lavoriamo le Camere Internamente, Non in Subappalto
La maggior parte delle fabbriche a Dongguan subappalta il lavoro delle camere a un secondo laboratorio. Noi no. Le nostre 20 macchine CNC funzionano 24/7 e il nostro team di controllo qualità si trova sullo stesso piano degli operatori. Questo è il motivo per cui possiamo garantire concentricità di 0.005 mm — l'operatore porta la parte alla CMM, non attraverso la città. È anche il motivo per cui rispettiamo i prototipi in 5 giorni: nessuna coda presso un fornitore esterno. Questa è produzione di precisione made in China, ma con il controllo di un'operazione a sito singolo.
Invia il tuo disegno per queste parti per camere a semiconduttore lavorate a CNC e ottieni un preventivo definitivo entro 12 ore. Email sc@bquq.com o WhatsApp +86 13713157787. Rispondiamo con prezzo, tempi di consegna e una revisione DFM — gratuita, senza impegno.
